"光滑"是指多光滑？
"光滑"是指多光滑？
那 “超光滑” 呢？
玻璃窗 光滑 嗎?
汽車發(fā)動機的承壓密封面 光滑 嗎?
手機攝像頭的鏡頭透鏡 光滑 嗎?
光學(xué)，機械，電子精密制造商，都在關(guān)注那些 高精度、高性能，尺寸可能卻很小的關(guān)鍵組件，這些組件對終端產(chǎn)品的性能至關(guān)重要，常常關(guān)乎一家公司在市場上的生存。
對于這些關(guān)鍵組件的關(guān)鍵面，"光滑"是指多光滑？這個問題弄清楚，很重要。
-光滑，超光滑表面的計量
有各種工具和方法，用于計量“光滑”表面；從觸針輪廓儀到原子力顯微鏡，以及非接觸式光學(xué)計量設(shè)備。
· 觸針式輪廓儀，通過在樣品上沿路徑運行的觸頭，來提供粗糙度結(jié)果，它只提供沿路徑的2D輪廓結(jié)果，而且會損壞它所測量的表面;
· 原子力顯微鏡(AFM),使用一個非常小的懸臂探針，使其靠近樣品，檢測**和樣品之間的作用力。原子力顯微鏡(AFM）可以提供納米級的分辨率，但測量過程耗時、探針消耗成本高、測量表面的區(qū)域范圍有限；
· 非接觸光學(xué)計量方式，以光為媒介，基于光學(xué)技術(shù)來感知表面，可以避免接觸被測表面。
-超光滑表面計量
超光滑表面計量需要 相干掃描干涉技術(shù)CSI（Coherent Scan Interferometry）。
并非所有的非接觸光學(xué)檢測設(shè)備，都能達到測量超光滑表面，所需的 埃級別 重復(fù)性和精度，認識到這一點很重要。
例如，共聚焦顯微鏡是基于Z軸掃描時，光強信號的變化，直接判斷位置信息的。這種共聚焦技術(shù)的縱向分辨率，和物鏡數(shù)值孔徑NA值關(guān)聯(lián),能測試的*光滑表面的RMS值，在幾納米級別。同時共聚焦顯微鏡，更適用于粗糙和高度傾斜的表面，對平滑無特征的表面，就不那么有效。
另一種光學(xué)檢測技術(shù)，相干掃描干涉(CSI Coherent Scan Interferometry)，利用光學(xué)干涉的原理，分析白光干涉掃描的條紋光強以及相位信息。正是深入到干涉相位的分析，才使CSI技術(shù)能測試的*光滑表面的RMS值，達到 優(yōu)于埃，小于0.1納米級別。同時這一分辨率和物鏡NA值無關(guān)，能夠測量用于粗糙和異常光滑表面。
與共焦和其它非接觸技術(shù)相比，CSI具有以下幾個優(yōu)勢:
· 基于CSI技術(shù)的光學(xué)輪廓儀，在使用各種物鏡，所有放大倍數(shù)下，都具有納米級或亞納米級精度。
· 基于CSI技術(shù)的光學(xué)輪廓儀，能快速高速掃描，在所有放大倍數(shù)下，在幾秒鐘內(nèi)得到數(shù)百萬像素的高度信息。
· CSI可用于超光滑（亞納米粗糙度）或光學(xué)透明的表面，也可測量具有透明光學(xué)薄膜的表面。
當需要確認“光滑”足夠“光滑”時，ZYGO基于相干掃描干涉技術(shù)的3D光學(xué)輪廓儀包括，NewView 9000, Nexview NX2 和 ZeGage Pro， 都是您*佳的選擇。
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上海浦量元精密機電有限公司
